AL2O3+GaN薄膜（半絕緣型）
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| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 常規(guī)尺寸 | dia2" |
| 產(chǎn)品定位 | C軸<0001>+/-1.0 |
| 厚度 | 30um or 90um |
| 傳導類型 | 半導體型 |
| 電阻率（300K） | >106ohm.cm |
| 位錯密度<1x10E8cm-2 | 可用表面積>90% |
| 標準包裝 | 1000級超凈室，100級超凈袋或單片盒封裝 |
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