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小巨人
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 GaN薄膜

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      氮化鎵Epitxial范本saphhire是提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。在HVPE過程中,鹽酸反應生成GaCl,而這又與氨反應生成氮化鎵熔鎵。外延GaN的模板是成本效益的方法,以取代氮化鎵單晶基板。

 技術參數
常規尺寸

dia50.8±1mm  x 4um,10-25um.

dia100±1mm  x 4um,10-25um. <0001>±1° N型

注:可按客戶需求定制特殊堵塞方向和尺寸。

產品定位 C軸<0001>±1°
傳導類型 N型;半絕緣型;P型
電阻率 R<0.05 Ohm-cm;半絕緣型R>106 Ohm-cm
位錯密度 <1x108 Cm-2
表面處理(鎵面) AS Grown
有效值 <1nm
可用表面積 >90%
標準包裝 1000級超凈室,100級超凈袋或單片盒封裝
暫無內容
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