ALD-1200X-4 雙通道ALD管式爐系統
應用范圍：ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質子流量計控制系統。該管式爐系統簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現ALD工藝實驗。
產品型號 ：ALD-1200X-4
上架時間 ：2019-07-09
產品簡述
產品詳情
產品視頻
留言咨詢
ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質子流量計控制系統。該管式爐系統簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現ALD工藝實驗。
| 性能指標和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 控制面板 |
● 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制。 |
|
| ALD進氣閥 |
兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關閉） |
|
| 精密液體氣相發生器 |
精密液體氣相發生器包含在本系統中并且連接到ALD進氣閥 |
|
| 雙溫區管式爐 |
● 連續工作的最高溫度為1100℃ |
|
| 防腐型數顯真空計 |
● 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr |
|
| 真空泵（選配） |
● 管內真空度可達10-2Torr。 |
|
| 混氣系統 |
● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統。 |
|
| 更新觀念 |
您可采用ALD設備搭建等離子增強原子層沉積+化學氣相沉積系統（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學氣相沉積系統（PE-ALD+PVD+CVD），用于生長各類材料 ( PE-ALD+CVD) ( PE-ALD+PVD +CVD) |
|
| 應用注意事項 |
● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
|
| 質量認證 |
所有電器元件（＞24V）均滿足UL/MET/CSA認證/CE認證，如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證 |
|
| 保修期 |
一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
|
暫無內容
暫無內容
留言咨詢
* 產品型號：
不能為空
* 產品名稱：
不能為空
* 訪客姓名：
不能為空
* 訪客手機：
手機號格式不對
* 訪客 QQ：
必須是數字
* 電子郵箱：
E-mail格式不對
* 詳細地址：
不能為空
* 留言內容：
不能為空
免責聲明：本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，科晶公司不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知。
- 上一篇：ALD回轉爐系統
- 下一篇：1500℃單溫區開啟式管式爐
相關產品
嗶哩嗶哩
抖音
材料商城
手機淘寶
深圳科晶001
曹工企業微信
許工企業微信
呂工企業微信
深圳科晶002
廖經理企業微信
韋工企業微信
黃工企業微信
樊工企業微信
深圳科晶003
陳經理企業微信
官工企業微信
許工企業微信
深圳科晶004
黃經理企業微信
殷工企業微信
江工企業微信
深圳科晶005
徐工企業微信
何工企業微信
張工企業微信
成工企業微信
劉工企業微信
秦工企業微信
楊工企業微信
羅工企業微信
楊工企業微信
宋工企業微信
關注官方微信
小程序商城
微信付款
支付寶付款
