PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)
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微型PECVD系統(tǒng) -
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD -
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng) -
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) -
OTF-1200X-S-II-4CV-PE1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) -
TF-1200X-PESDFG-50雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱 -
OTF-1200X-III-R5-PECVD1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) -
OTF-1200X-II-PEC41200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) -
OTF-1200X-II-PE-RRW等離子增強(qiáng)卷對卷線材連續(xù)制備系統(tǒng) -
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OTF-1200X-50-4CLV-PE4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) -
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