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廣東省工程技術(shù)研究中心
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GSL-3F 混氣系統(tǒng)3路浮子

應(yīng)用范圍:這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以放在它上面,結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。產(chǎn)品型號 :GSL-3F

上架時間 :2019-07-09

安裝尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

重量:約75 Kg

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       這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以放在它上面,結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

 性能指標(biāo)和基本配置
浮子流量計

● 三種不同量程的浮子流量計,控制精度4%
● A:10 - 100mL/min
● B:16 - 160mL/min
● C:25 - 250mL/min

機械壓力表(混氣罐)

-0.1-0.15 Mpa

接頭和氣管

● 在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個氣體進(jìn)口
● 兩通道氣體流入氣體混合罐,另一個通道氣體不通過氣體混合管(請參考說明書,也可另行定制,詳情請咨詢銷售)
● 兩個出口(可連接科晶管式爐)安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)(一路混合氣體和一路單獨的氣體)
● 12”長1/4”直徑的聚四氟管及快插接頭

真空針閥

● 采用ss304不銹鋼
● 安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)

安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪

外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

凈重

約75 Kg

可選

CVD或者PECVD            液相氣體發(fā)生器

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無內(nèi)容
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