GSL-2Z-LCD-S 小型二通道混氣系統
應用范圍：GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質子流量計混氣系統，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實時查看流量數據及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用，實現PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
產品型號 ：GSL-2Z-LCD-S
上架時間 ：2019-07-09
安裝尺寸：360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
重量：8.4kg
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GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質子流量計混氣系統，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實時查看流量數據及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用，實現PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 基本參數 |
● 工作溫度：5~45oC ● 最大壓力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: ● 一路：1-99 SCCM ● 二路：1-199 SCCM （其他流量范圍可定制） ● 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 |
| 輸入電源 |
AC 220V，50/60Hz |
| 功率 |
100W |
| PLC觸摸屏 |
各通道的氣路設定和查看都集中在一觸摸屏上 |
| 混氣罐 |
內置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
| 機械壓力表 |
● 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 |
| 針閥 |
316 不銹鋼 |
| 通氣管道 |
● 內部連接管道為1/4”不銹鋼管 |
| 混氣罐 |
內置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
| 機械壓力表 |
● 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 |
| 針閥 |
316 不銹鋼 |
| 通氣管道 |
● 內部連接管道為1/4”不銹鋼管 |
| 外形尺寸 |
360 mm L x 300 D mm x 190 H mm |
| 產品重量 |
8.4kg |
| 相關產品 |
CVD & PECVD?管式爐 （點擊圖片查看詳細資料） |
| 質量認證 |
CE認證 |
| 保修期 |
一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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