應用范圍:OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動速度可以根據實驗需要而設置(1mm/sec-100mm/s),并可以設置左右反復滑動,同時還可以設置爐體的滑動距離。此款管式爐專門設計用CVD方法定向生長單壁碳納米管(SWCNTs)。通時此款滑軌爐也可用來在硅片上生長熔點較低的金屬單晶。此系統包含了可設30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。
產品型號 :OTF-1200X-50-DSL
上架時間 :2019-07-23
安裝尺寸:315 x 300 x 380 mm (爐體)
1200 x 400 x 530 mm ( 整個外形)
360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)
重量:100Kg
OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動速度可以根據實驗需要而設置(1mm/sec-100mm/s),并可以設置左右反復滑動,同時還可以設置爐體的滑動距離。此款管式爐專門設計用CVD方法定向生長單壁碳納米管(SWCNTs)。通時此款滑軌爐也可用來在硅片上生長熔點較低的金屬單晶。此系統包含了可設30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。
性能指標和基本配置 | ||
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爐體結構 |
● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統 |
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功率 |
1.5KW |
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電壓 |
AC220V,單相 |
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最高共工作溫度 |
1200℃(≤1小時) |
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連續工作溫度 |
1100℃ |
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加熱區域 | ||
加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有高溫氧化鋯涂層,可延長其使用壽命) |
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爐管 |
● 高純石英管 |
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溫控系統 |
● 采用PID方式調節溫度,可設置30段升溫、降溫和保溫程序 |
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爐體滑動控制系統 |
● 觸摸屏控制 |
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密封法蘭 |
● 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭(上面已安裝不銹鋼針閥和機械壓力表) |
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石英氣體噴嘴 |
可選配石英氣體噴嘴,將反應氣體與緩沖清洗氣體分開通入,可有效減少副反應發生,實現高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。 |
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真空度 | ||
滑軌長度 |
1200mm |
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產品尺寸 |
● 315 x 300 x 380 mm (爐體) |
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重量 |
100Kg |
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質量認證 | ||
保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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