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廣東省工程技術研究中心
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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長爐

應用范圍:OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動速度可以根據實驗需要而設置(1mm/sec-100mm/s),并可以設置左右反復滑動,同時還可以設置爐體的滑動距離。此款管式爐專門設計用CVD方法定向生長單壁碳納米管(SWCNTs)。通時此款滑軌爐也可用來在硅片上生長熔點較低的金屬單晶。此系統包含了可設30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。 

產品型號 :OTF-1200X-50-DSL 

上架時間 :2019-07-23 

安裝尺寸:315 x 300 x 380 mm (爐體) 

                 1200 x 400 x 530 mm ( 整個外形) 

                 360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)

重量:100Kg

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       OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動速度可以根據實驗需要而設置(1mm/sec-100mm/s),并可以設置左右反復滑動,同時還可以設置爐體的滑動距離。此款管式爐專門設計用CVD方法定向生長單壁碳納米管(SWCNTs)。通時此款滑軌爐也可用來在硅片上生長熔點較低的金屬單晶。此系統包含了可設30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統
● 一個滑軌安裝在爐體下端,可通過一6“的觸摸屏來控制爐體移動方向、滑動速度和往返次數
● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率和延長使用壽命。

功率

1.5KW

電壓

AC220V,單相

最高共工作溫度

1200℃(≤1小時)

連續工作溫度

1100℃

加熱區域

● 加熱區:200mm(單溫區)
● 通過管堵位置和爐體移動可形成想得到的溫度梯度
1 1

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有高溫氧化鋯涂層,可延長其使用壽命)

爐管

● 高純石英管
● 尺寸:50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 儀器加熱前,必須放入管堵,以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

溫控系統

● 采用PID方式調節溫度,可設置30段升溫、降溫和保溫程序
● 設置有溫度過高和斷偶保護系統
● 控溫精度:±1℃
● 可選測PC控制軟件,將升溫程序和溫度曲線導入到電腦中
1 1

爐體滑動控制系統

● 觸摸屏控制
● 爐體移動有手動和自動控制兩種控制狀態,在手動狀態和自動狀態下均可設定左右移動的速度,但只有在自動狀態下才能設定左右移動的次數。
● 含蜂鳴報警器,當爐體觸碰到限位開關就會產生報警,并切斷控制電路,使爐體停止移動。
● 可顯示高溫爐內的爐溫,與之通訊

密封法蘭

● 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭(上面已安裝不銹鋼針閥和機械壓力表)
● 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔,可將熱電偶插入到爐管中,更準確地測量樣品的實際溫度
1

石英氣體噴嘴

可選配石英氣體噴嘴,將反應氣體與緩沖清洗氣體分開通入,可有效減少副反應發生,實現高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。
1

真空度

● 10E-5 torr (用分子泵)
● 10E-2?torr?(用直聯式機械泵)
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滑軌長度

1200mm

產品尺寸

● 315 x 300 x 380  mm (爐體)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整個外形)
● 360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)

重量

100Kg

質量認證

CE certified
1

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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