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廣東省工程技術研究中心
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GSL-1100X-XX-III 1100℃三溫區大口徑管式爐

應用范圍:GSL-1100X-XX-IIICE認證的三溫區大口徑管式爐,此系列管式爐可選擇三種爐管直徑:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。設備最高加熱溫度可達1100℃,控溫精度為+/-1℃并可設置30段升降溫程序。此款設備配有鉸鏈式法蘭,可對材料在真空或氣氛保護環境下進行熱處理。

產品型號:GSL-1100X-XX-III

上架時間 :2019-07-29

安裝尺寸:1880 L x 700W x 930 H mm

重量:約200 kg

產品簡述 產品詳情 產品視頻 留言咨詢

       GSL-1100X-XX-III是CE認證的三溫區大口徑管式爐,此系列管式爐可選擇三種爐管直徑:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。設備最高加熱溫度可達1100℃,控溫精度為+/-1℃并可設置30段升降溫程序。此款設備配有鉸鏈式法蘭,可對材料在真空或氣氛保護環境下進行熱處理。

  性能指標與基本配置
名稱 1100℃三溫區大口徑管式爐GSL-1100X-XX-III
產品提示 1、大體積設備提示                2、多種配件可選提示
設備型號 GSL-1100X-6-III GSL-1100X-8.5-III GSL-1100X-11-III
高純石英管尺寸 152 OD x 143 ID x 1300mm L 216 OD x 206 ID x 1300mm L 279 OD x 269 ID x 1300mm L
石英舟(可選) 最大可兼容4”直徑基片 最大可兼容6”直徑基片 最大可兼容8”直徑基片
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爐體結構 ● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請點擊)

● 設備中配有2個氧化鋁管堵,設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細資料)

● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)

● 該爐可作為退火或擴散爐,最大可用于8”晶片放在對應石英舟中

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基本參數 ● 熱偶:K型熱偶

● 建議升溫速率:≤10℃/min

● 溫度:1000℃ (1100℃<1h)

● 電源:AC220,50Hz

● 最大功率:8KW

加熱區 加熱區長度:900mm (三溫區:300mm+300mm+300mm)
加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)
密封法蘭 ● 采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請點擊)

● 可選購一套溫度測試裝置(鎧裝熱偶、補償導線和溫度儀表),用于測試爐管內部的溫度

● 左側水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭

● 右側水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉接頭)

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溫控系統 ● 包含一款YD518P型溫度控制器

● PID自動控溫系統

● 智能化30段可編程控制

● 控溫精度:±1℃

● 兩個溫區分別有三個獨立的溫控系統控制

● 默認DB9 PC通信連接端口

● 通過MET認證

● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

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溫度校準(可選) ● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括

● 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準

● 一Omega溫度校準器

● 熱電偶補償線

● 你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr

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外形尺寸 1880 L x 700W x 930 H mm
凈重 約200 kg
質保期 ● 一年保修,終身技術支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

● 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

點擊查看售后服務承諾書。

真空系統 ● 多種真空系統可選

● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質量認證 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

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使用注意事項 ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

● 石英管的長時間使用溫度<1100℃

● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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