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VTC-16-PW 小型粉末PVD包覆系統

應用范圍:VTC-16-PW是一款小型粉末包覆系統,主要有2英寸磁控濺射頭和振動樣品臺組成。粉末在振動樣品臺上振動翻滾,通過濺射在粉末表面進行包覆形成核殼結構。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。

產品型號 :VTC-16-PW

上架時間 :2019-08-19

重量:20 kg

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       VTC-16-PW是一款小型粉末包覆系統,主要有2英寸磁控濺射頭和振動樣品臺組成。粉末在振動樣品臺上振動翻滾,通過濺射在粉末表面進行包覆形成核殼結構。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。

 性能指標和基本配置
產品特點

● 可對粉體材料進行表面包覆:采用磁控濺射,濺射時粉體材料在振動樣品臺上翻滾,達到粉體表面均勻包覆
● 設備小巧可在手套箱內使用,可處理樣敏感性材料
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輸入電壓

220 VAC 50/60Hz

電源輸出

● 1600 VDC /250 W
● 最大電流150 mA .

濺射頭&樣品臺

● 2英寸角度可調節濺射頭,帶有水冷夾層
● 一個手動操作擋板,用于保護靶材
● 濺射頭與樣品臺距離可調節,調節范圍為60-100mm
● 設備中配有一循環水冷機(流量16L/min),用于冷卻濺射頭

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振動樣品臺

● 振動樣品臺安裝在真空腔體底部
● 樣品臺振動頻率可調節:6-33Hz
● 樣品臺直徑為50mm,粉末放置于樣品臺上,濺射時粉末振動翻轉,對粉體表面進行包覆
● 建議樣品量: < 500 mg
● 建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um
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真空腔體 石英腔體尺寸, 165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H
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控制面板 6英寸控制面板,可顯示和設置所有參數,如真空和電流
真空度

● 一個KF25真空接口
● 此系統需要Ar氣瓶(上面安裝減壓閥)(設備中不包含)
● 真空度:
①1.0E-2 Torr(采用機械泵),可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶
② 1.0E-5 Torr(采用分子泵),可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶
● 最大真空度可達到< 4.0E-6 Torr(分子泵系統抽時間12小時,腔體進行烘烤)
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靶材

● 設備中包含一2英寸Cu靶,靶材厚度2.5mm
● 此設備可濺射 Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg,等各種金屬靶材
● 可選購射頻等離子磁控濺射儀,用于濺射非導電靶材和碳靶
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產品尺寸 1
凈重 20 kg
應用注意

警告:
●濺射頭與高壓電源相連接,操作時必須佩帶防護手套
●濺射前必須確保靶材,濺射頭,基片和樣品臺清潔,需要用砂紙和乙醇來清洗,Al或是Ni靶每次使用時都必須清洗和理
●注意:粉末樣品必須干燥和分散

認證

1CE認證

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
點擊查看售后服務承諾書。
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