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小巨人
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EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀

應(yīng)用范圍:EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

產(chǎn)品型號(hào) :EQ-TM106

上架時(shí)間 :2019-09-02

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       EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)

● 本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。
● 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM
● 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
● 通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。
● 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

● 電源:DC   5V(±10%),最大電流400mA
● 頻率分辨率:±0.03Hz
● 膜厚分辨率:0.0136?(鋁)
● 膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度
● 測(cè)量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置
● 測(cè)量范圍:500000?(鋁)
● 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz
● 計(jì)算機(jī)接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8,停止位:1,校驗(yàn):無)
● 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5V輸出)
● 工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
● 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

● 輸入電源:AC 220V±10%
● 輸出電源:DC   5V  3A
● 顯示器:12×2數(shù)碼管與LED
● 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8位,停止位:1位  ,奇偶校驗(yàn):無)
● 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

● 適用晶片頻率:6MHz
● 適用晶片尺寸:Φ14mm
● 安裝法蘭:CF35
● 冷卻水管:Φ3mm,長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm
● 冷卻水壓:<0.3MPa
● 氣動(dòng)擋板路管:Φ3mm
● 壓縮空氣壓力:
● 烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃
● 電氣接口:BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè)

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