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HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭

應(yīng)用范圍：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品型號：HVMSS-SPC-2

上架時間：2019-09-02

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HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。。

性能指標和基本配置
特征	● 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作 ● 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布 ● 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命 ● 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配 ● 安裝是采用標準真空接頭，便于操作 ● 更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度
所需功率	● DC（最大）1000W ● RF（最大）500W
最大濺射電流	3A
濺射電壓	100-1000V
濺射時腔體真空度	5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖
尺寸	● 陽極護套直徑：3.5英寸 ● 總長度：14英寸
靶材	● 直徑: 2.0英寸(50.8mm) ● 厚度: 對于非磁性靶材，最大厚度為1/8英寸 ● 對于磁性靶材，最大厚度為1/16英寸 ● 靶材利用率：30% ● 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水	● 流速:0.8 GPM ● 進水溫度:<20 ℃ ● 水管:0.25" OD.
可選配件	● 當同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭 ● 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸 ● 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L
外形尺寸
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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