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HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭

應用范圍:HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DCRF電源配合使用。

產品型號 :HVMSS-SPC-2

上架時間 :2019-09-02

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       HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭,可適用的靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。。

 性能指標和基本配置
特征

● 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作
● 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體,以得到較高的磁場強度和均強場分布
● 磁體表面涂有一層保護層,以防止冷卻水的腐蝕,延長其使用壽命
● 標準的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配
● 安裝是采用標準真空接頭,便于操作
● 更換靶材較為簡單,無需調整濺射頭的高度
1

所需功率

● DC(最大)1000W
● RF(最大)500W

最大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000V

濺射時腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖 1
尺寸

● 陽極護套直徑:3.5英寸
● 總長度:14英寸

靶材 ● 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
● 厚度: 對于非磁性靶材,最大厚度為1/8英寸
● 對于磁性靶材,最大厚度為1/16英寸
● 靶材利用率:30%
● 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水

● 流速:0.8 GPM
● 進水溫度:<20 ℃
● 水管:0.25" OD.

可選配件

● 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時,本公司會贈送一高真空快速接頭
● 此快速接頭的內徑為0.75英寸,可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸,真空腔體的壁厚不得大于1英寸
1 1
● 循環水冷機,流量為16L / min ,水箱容積為6L
1

外形尺寸

1

保修期 一年保修,終身技術支持。
點擊查看售后服務承諾書。
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