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廣東省工程技術研究中心
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VTC-100PA(加熱型) 真空旋轉涂膜機

應用范圍:VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

產品型號 :VTC-100PA(加熱型)

上架時間 :2019-09-26

安裝尺寸:450mm×280mm×340mm

重量:20kg

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       VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 性能指標和基本配置
主要特點

● 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
● 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
● 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
● 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
● 電機啟動快速穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
● 50W/24V 直流電機
● 適于在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數

● 電機功率:50W/24V
● 速度范圍:500-10000rpm
● 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
● 增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
● 時間范圍:0-60s
● 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進氣口

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環境下旋轉涂覆
1

可選加熱部分

上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,最高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
1 1 1 1

產品尺寸

450mm×280mm×340mm;

產品重量

20kg

標準配件

1

真空吸盤(含O型圈) 2個
2 中心定位器(含4個定位柱) 1個
3 滴膠注射器(20ml) 1個
4 注射器支架 1個
5 AP-1400V無油真空泵 1臺
6 橡膠管(含卡箍) 1根
可選配件 過濾器(真空泵用)
保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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