● 工作電源：AC220V，50/60Hz
● 功率：3KW
● 加熱元件：電阻絲
● 最高溫度：1200℃ (使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變)
● 長期使用溫度：1100℃
● 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min
● 爐管：高純石英管：φ80*1400mm
● 總加熱區長度：400mm
● 恒溫區長度：200mm
● PID控溫，具有超溫及斷偶保護
● 控溫精度：±1℃

● 輸出功率：50-500W最大可調±1%
● RF頻率： 13.56MHz，穩定性±0.005%
● 噪聲：≤55DB
● 冷卻：風冷
● 輸入功率：1KW  AC 220V

● 電壓：AC220V/50Hz
● 功率：23W
● PLC觸摸屏控制
● 混氣罐尺寸：φ80*120mm
● 工作溫度：5~45 oC
● 最大壓力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
● 重復精度: ±0.2%F.S.
● 流量范圍:
● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標定）
● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標定）
● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標定）
氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇

● 型號：PGC-554-LD
● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
精度：
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
● 極限真空度10-1Pa
● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)：
● 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm）
● 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm）
● 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm）
● 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm）
壓力恒定控制精度：
● 180mtorr-----2.5torr（±%10）
● ＞2.5torr-----10torr（±%40）
● ＞10 torr------200torr（±%5）

● 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調；
● 配置一卷約5公斤重的銅箔，銅箔寬度：65mm，銅箔厚度0.025mm；
● 收放卷機構別放置于管式爐兩端真空腔體內，保證銅箔可在密封生長條件下進行運動，實現大規模制備 。
● 收卷機構與管式爐之間設置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

可選配石英氣體噴嘴，將反應氣體與緩沖清洗氣體分開通入，可有效減少副反應發生，實現高端CVD工藝，如局部控制前體濃度化學氣相沉積工藝（ALC CVD）或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。

2400*600*1250mm

260kg

電器元件可選擇通過CE認證