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小巨人
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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。 

產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-II-4CV-PE-SL

上架時(shí)間 :2019-07-04 

安裝尺寸:爐體: 550 x 380 x 520 mm 

                 滑軌: 1750 mm 長(zhǎng) 

                 移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm 

重量 :220 Lbs

產(chǎn)品簡(jiǎn)述 產(chǎn)品詳情 產(chǎn)品視頻 留言咨詢

       OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。

 性能指標(biāo)和基本配置
設(shè)備型號(hào)

OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL       OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL             OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL

爐管尺寸

2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L        3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L        5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L

產(chǎn)品特點(diǎn)

●與傳統(tǒng)的CVD相比,只需較低的制備溫度
● 滑軌式可快速加熱和快速冷卻
● 兩個(gè)加熱區(qū),溫度梯度最大可達(dá) 200oC
● 最高工作溫度1100°C
● 提供一個(gè)寬范圍的材料制備 ,如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

等離子發(fā)射源

● 輸出功率:5 -500W ± 1% .
● 射頻頻率:13.56 MHz    ±0.005% .
● 反射功率:最大 200W
●  匹配:自動(dòng)
●  射頻接口:50 Ω, N-type
●  噪音:<50 dB
● 冷卻: 風(fēng)冷.
● 電源:AC   208-240V, 50/60Hz

真空泵機(jī)組

● 我公司有多種真空泵可選,請(qǐng)點(diǎn)擊圖片,或是致電我公司銷售。
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● KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連.
● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
● 防腐型真空計(jì)( 美國(guó)) 安裝在左法蘭上.
本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)
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質(zhì)量流量計(jì)

四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) :
● 數(shù)字顯示,自動(dòng)控制.
● MFC 1范圍:  0~100 sccm
● MFC 2和3:    0~200 sccm
● MFC 4范圍:   0~500 sccm
● 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口.
● 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體.
● 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
● 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.

控溫軟件

● 計(jì)算機(jī)可以通過(guò)控溫軟件控制爐子:RS485 接口和軟件是免費(fèi)的,但需要購(gòu)買(mǎi)數(shù)據(jù)線和一個(gè)控制模塊
● 為了獲得較大的升溫速度,  必須預(yù)熱到設(shè)定溫度,然后將爐子滑到樣品位置。
● 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).

外形尺寸

● 爐體: 550 x 380 x 520  mm
● 滑軌:   1750 mm 長(zhǎng)
● 移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm.

重量

● 凈重: 220 Lbs.
● 運(yùn)輸重量: 500lbs.

開(kāi)門(mén)斷電

● 為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
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應(yīng)用注意事項(xiàng) ●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
國(guó)家專利

專利名稱:可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置
專利編號(hào):ZL-2011-2-0355777.1
尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
暫無(wú)內(nèi)容
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