應(yīng)用范圍:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。
產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-II-4CV-PE-SL
上架時(shí)間 :2019-07-04
安裝尺寸:爐體: 550 x 380 x 520 mm
滑軌: 1750 mm 長(zhǎng)
移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm
重量 :220 Lbs
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。
性能指標(biāo)和基本配置 | |
---|---|
設(shè)備型號(hào) |
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
爐管尺寸 |
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
產(chǎn)品特點(diǎn) |
●與傳統(tǒng)的CVD相比,只需較低的制備溫度 |
等離子發(fā)射源 |
● 輸出功率:5 -500W ± 1% . |
真空泵機(jī)組 |
● 我公司有多種真空泵可選,請(qǐng)點(diǎn)擊圖片,或是致電我公司銷售。 |
質(zhì)量流量計(jì) |
四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) : |
控溫軟件 |
● 計(jì)算機(jī)可以通過(guò)控溫軟件控制爐子:RS485 接口和軟件是免費(fèi)的,但需要購(gòu)買(mǎi)數(shù)據(jù)線和一個(gè)控制模塊 |
外形尺寸 |
● 爐體: 550 x 380 x 520 mm |
重量 |
● 凈重: 220 Lbs. |
開(kāi)門(mén)斷電 | |
應(yīng)用注意事項(xiàng) |
●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) ●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ ●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
國(guó)家專利 |
專利名稱:可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置 |
質(zhì)量認(rèn)證 |
所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。 |
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