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廣東省工程技術研究中心
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OTF-1200X-S2-50SL 1200℃小型雙爐體滑動管式爐

應用范圍:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。 

產品型號 :OTF-1200X-S2-50SL 

上架時間 :2019-07-22 

安裝尺寸:爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H 

                 整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H 

重量:80Kg

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       OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建TCVD系統。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請點擊)
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命)
● 可選購石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內潔凈度及真空度(圖3-4)
● 設有開門斷電功能,提高實驗安全性(圖5-6)
● 爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動,爐子可以滑動700mm的距離

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        圖1                     圖2                          圖3                        圖4                        圖5                        圖6

基本參數

● 熱偶:K型熱偶
● 爐建議升溫速率:≤10℃/min
● 溫度:1100℃ (1200℃<1h)
● 電源:AC220,50Hz   最大3KW

高純石英管尺寸

尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命)

加熱區

每個加熱爐加熱區長度:200mm

密封法蘭

● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環包括在內
● 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(圖一)
● 一個真空壓力表安裝在一側法蘭(圖一)
● 可選:您可以選購kf25真空口法蘭(圖二)
● 您可以訂購法蘭支架(圖三)

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             圖1                             圖2                                     圖3


溫控系統

● 包含一款808P型溫度控制器
● PID自動控溫系統
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 默認DB9 PC通信連接端口
● 通過MET認證
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。
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可選

● 可選購電動滑軌(圖一)
● 可選購1-9通道混氣系統(圖二)
● 100W-500W的射頻等離子源,與管式爐配合可搭建起等離子增強的加熱CVD系統(圖三)

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             圖1                        圖2                          圖3                                圖4


溫度校準(可選)

● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括:
● 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準
● 一Omega溫度校準器
● 熱電偶補償線
● 你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr
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滑軌

● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌
● 滑軌長度:1600mm
● 滑軌中包含兩個個固定裝置,用于固定爐子的位置

真空系統(可選)

●用機械泵真空度達 50 mtorr
● 用分子泵真空度可達 10E-4 torr
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尺寸

● 爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H
● 整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H
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凈重

80Kg

使用注意事項

● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
提示:最大的加熱和冷卻速度是通過將爐管的一側預熱到目標溫度,然后將爐子滑到另一側來實現的。 您可以選擇將樣品放置在預熱區域。

應用提示

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。
·為了在管式爐內獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用。

認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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