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小巨人
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PCE-22 加熱型紫外臭氧清洗機

應(yīng)用范圍:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。 
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?span lang="EN-US">254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

產(chǎn)品型號 :PCE-22

上架時間 :2019-09-04

安裝尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

重量:28kg

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       PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

 性能指標和基本配置
主要參數(shù)

● 功率:最大350W
● AC 208~240V,單相 50/60Hz

應(yīng)用

● 去除分子級別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

紫外燈

● 可發(fā)出雙波長的水銀燈
● 功率:55W
● 發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm
● 使用壽命:2500 小時(可更換)
● 照射區(qū)域:200 x 200 mm
1

腔體&樣品臺

● 不銹鋼殼體
● 抽屜式樣品臺,以便放樣取樣
● 樣品臺面積310 mm x 320 mm
● 臭氧通風裝置安裝在腔體上
● 樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))
● 樣品臺可以加熱,最高溫度可達150℃
● 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
● 設(shè)備運行時間:0.01 秒- 99.9小時
1

排氣口

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
● 請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外
● 儀器中不包含橡膠管
1

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
● 溫度范圍:41-104華氏度;
● 最大相對濕度80%,最高87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度;
● 主電源波動不超過額定電壓的10%;
● 污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb。

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
1

凈重 28kg
認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。
1

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無內(nèi)容
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