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MSK-PSP-FE2020 閃蒸成膜儀

應(yīng)用范圍：MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對(duì)于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì)，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點(diǎn)降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對(duì)鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號(hào)：MSK-PSP-FE2020

適應(yīng)基材尺寸：Max L200mmxW200mmxH10mm

設(shè)備本體尺寸：約L420mmXW420mmXH350mm（以實(shí)物為準(zhǔn)）

真空泵尺寸：約L350mmXW900mmXH500mm（不含油霧過濾器，以實(shí)物為準(zhǔn)）

設(shè)備本體重量：約32KG（以實(shí)物為準(zhǔn)）

真空泵重量：約120KG（以實(shí)物為準(zhǔn)）

上架時(shí)間：2024-07-29

版本號(hào)：V1.2

A^-A⁺

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MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對(duì)于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計(jì)，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點(diǎn)降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對(duì)鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點(diǎn)

獨(dú)特的真空管道設(shè)計(jì)，抽取真空時(shí)氣流平穩(wěn)；
配備大功率真空泵，抽真空速度快，更有利于溶劑揮發(fā)；
內(nèi)置真空壓力測(cè)量傳感器，程序控制抽真空與泄壓，操作便捷；
配備手動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣旋鈕，可控制泄壓時(shí)氣流量的大小；
上蓋配備玻璃視窗，可觀察成膜過程；
可更換抽氣口方向，可選擇在側(cè)面或后面。（默認(rèn)在設(shè)備后面）。

技術(shù)參數(shù)
電源	設(shè)備本體：?jiǎn)蜗郃C220V，頻率50Hz，功率約200W 真空泵：三相四線制AC380V（可定制三相220V，60Hz），頻率50Hz，功率約3.7KW
極限壓力	設(shè)備本體：1Pa 真空泵：≤5x10^-1Pa
真空泵抽氣速率	標(biāo)稱速率：90m^3/h 與設(shè)備本體連接后實(shí)測(cè)，5秒壓力可降至10Pa，10秒壓力可降至5Pa（在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，腔體內(nèi)無水無油空腔狀態(tài)下測(cè)得）
真空腔室漏率	≤5*10^-4Pa﹒m³/s
適應(yīng)基材尺寸	Max L200mmxW200mmxH10mm
設(shè)備本體尺寸	約L420mmXW420mmXH350mm（以實(shí)物為準(zhǔn)）
真空泵尺寸	約L350mmXW900mmXH500mm（不含油霧過濾器，以實(shí)物為準(zhǔn)）
設(shè)備本體重量	約32KG（以實(shí)物為準(zhǔn)）
真空泵重量	約120KG（以實(shí)物為準(zhǔn)）

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