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TF-1200X-PESDFG-50 雙爐體滑動PECVD系統&循環手套箱

應用范圍:OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統,并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

產品型號 :OTF-1200X-PESDFG-50 

上架時間 :2019-07-04 

安裝尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

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       TF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統,并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

 性能指標和基本配置
結構特點

● 兩個爐體在一個滑軌上面,和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果
● 連續工作溫度:1100℃
● 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序

等離子射頻電源

● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%
● 最大射頻功率: 500W
● 匹配: 自動匹配
● 噪音: <50 dB.
● 冷卻: 空氣冷卻.
● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統

● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
● KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連。
● 管內真空可達10E-2 Torr

質量流量計混氣系統

● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) :數字顯示,自動控制.
● MFC1范圍:  0~100 sccm
● MFC2和3:   0~200 sccm
● MFC4范圍:  0~500 sccm
● 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口.
● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體.
● 進氣口: 4個1/4NPS.
● 出氣口: 4個 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制
● 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統
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爐管&密封法

●  高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
● 配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計
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防腐型真空計

● 輸入電源   24V,1A  DC(配有一電壓轉換器)
● 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
● 數據顯示   數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr
● 接頭 KF16 接頭
● 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循環手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
● 帶有除水系統:保持水含量< 2 ppm
● 一真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管相連接
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質量認證

所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證/ CE認證,如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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