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廣東省工程技術研究中心
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OTF-1200X-S-II-4CV-PE 1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統

應用范圍:OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(HPCVD)雙溫區回轉爐系統。此系統由一300W射頻電源(帶自動匹配功能)、上游蒸發舟、4通道質子流量計控制系統以及性能優異的真空泵組成。此套完整的設備系統特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。 

產品型號 :OTF-1200X-S-II-4CV-PE 

上架時間 :2019-07-04 

安裝尺寸:2700mm L x 600mm W x 1250mm H 

重量:90kg

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       OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(HPCVD)雙溫區回轉爐系統。此系統由一300W射頻電源(帶自動匹配功能)、上游蒸發舟、4通道質子流量計控制系統以及性能優異的真空泵組成。此套完整的設備系統特別適合用于無機復合粉末的熱處理以及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。

 性能指標和基本配置
結構特點

● 爐體可在0 ~ 30°內傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出
● 300W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度
● 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性
● 4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控
● 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅體進行蒸發用于后續的混合物理化學氣相沉積階段
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雙溫區回轉爐

● 最高溫度:1100oC(< 1h) 連續工作溫度:< 1000℃
● 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統
● 輸入功率:208-240V,單相,功率:1.5KW
● 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗
● 回轉爐旋轉速度:0-5 rpm
● 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管

等離子射頻電源

● 輸出功率:0-300W可調(穩定性:±1%)
● 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%)
● 最大反射功率:100W
● 匹配:自動匹配
● 射頻輸出端口:50Ω、N型
● 噪音:<50dB
● 冷卻: 空氣冷卻
● 電源: 110 -240VAC, 50/60Hz

蒸發舟

● 0.7mL氧化鋁坩堝(由鎢絲加熱圈包圍)
● S型熱電偶插入坩堝中實現對蒸發物料的精確測溫
● 最高溫度可達1100℃,長期使用溫度達1000℃
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石英管

●  高純異形石英管
● 尺寸:兩端:25 mm OD x 22 mm ID;中間:50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L

密封法蘭

●  一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)
● 磁流體密封旋轉接頭安裝在兩端保證旋轉過程中進氣管和其它附件的正常使用,避免卷繞

旋轉速度

0-5rpm可調

爐體可傾斜角度

0~30°

真空泵

●   雙級真空泵包含在設備中
● KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵

4通道質子流量計控制系統

4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%)
流量范圍:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 0~200 SCCM
● 三路: 1~200 SCCM
● 四路: 1~500 SCCM
● 電壓:208-240V AC 50/60Hz
氣體進出口配件:
●6 mmOD的聚四氟管或不銹鋼管
● 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
● PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置

溫度控制

● 2個溫區分別由2個獨立的溫控系統控制
● 采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序
● 采用K型熱偶,控溫精度+/- 1℃
● RS485通信端口。

容積式進料器(可選)

EQ-PF-1S是一款容積式自動喂料器,包含一電動攪拌器以及帶有振動裝置的不銹鋼料斗。可實現固體粉料的自動化喂料,從而實現固態粉料的連續式燒結/熱處理

尺寸和重量

● 2700mm L x 600mm W x 1250mm H
● 凈重:90kg
● 運輸重量:136kg
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應用注意事項 ●爐管內氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
●石英管的長時間使用溫度<1100℃
●對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質量認證

所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證/ CE認證,如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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