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廣東省工程技術研究中心
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OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距離蒸發鍍膜爐

應用范圍:OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發或CSSClose Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其載樣臺尺寸5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),最大升溫速率為20oC/s 。采用PID方式進行溫度調節,可設置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結構太陽能電池,這是一款理想的實驗工具。

產品型號 :OTF-1200X-RTP-II-5

上架時間 :2019-07-19

安裝尺寸:1085mm L x 680mm W x 1710mm H

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       OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其載樣臺尺寸5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),最大升溫速率為20oC/s 。采用PID方式進行溫度調節,可設置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結構太陽能電池,這是一款理想的實驗工具。

 性能指標和基本配置
結構

● 采用兩個溫度控制器,分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計,可向真空腔體中通入氣體
● 真空腔體為一高純的石英管,其尺寸為:11" OD/10.8" ID×9" H mm

基本參數

● 工作溫度:最高800℃  推薦加熱速率:≦10℃/s(每個溫區單獨加熱)
● 功率:20KW  電壓:AC220V 50Hz 單相(需要20A空氣開關)

加熱元件和載樣臺

● 由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部
● 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節
● 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中(不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作)
● 采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作為載樣臺,以達到較好的加熱均勻性
● 底部載樣臺上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發原料
● 此款儀器使用時需要配用一循環水冷機(KJ-5300型,16L/min)
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真空法蘭

● 真空法蘭為316不銹鋼制作
● 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
● 底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封,用機械泵其腔體內真空度可達10-2 torr,用分子泵其腔體內真空度可達10-4torr.

溫控系統

● 兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區,可設置30段升降溫程序
● 每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護
● PC通訊接口,軟件可安裝,可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中

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熱電偶

兩個K型熱電偶,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸

可選

● 實驗時需要一個真空泵,可與本公司選購真空泵
● 采用機械泵可使腔體內的真空度達到10E-2 torr
● 若要使真空腔體內達到更潔凈的工作環境,可換購無油泵
● 也可選購質子流量計混氣系統,將實驗所需氣體按比例混好后導入到真空腔體中

尺寸

1085mm L x 680mm W x 1710mm H
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使用注意事項

● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

國家專利

● 專利名稱:可調短距離快速升降溫蒸鍍爐及其制造方法
● 專利號:ZL 2013 1 0185033.3
● 尊重創新,鄙視抄襲,侵權必究

認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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