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廣東省工程技術研究中心
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GSL-1800X-ZF4 高真空蒸發鍍膜儀

應用范圍:GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

產品型號 :GSL-1800X-ZF4

上架時間 :2019-08-20

安裝尺寸:650mm×1200mm×1600mm

重量:600Kg

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       GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

 性能指標和基本配置
主要特點

● 真空控制單元全部集合在一個控制盒內。
● 采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。
● 真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個CF150閘板 閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規)、5個CF35法蘭(1個安裝電離規,4個備用,便于安裝其他設備)。
● 在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。
● 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板,有效地避免蒸發時相互污染。
● 樣品臺安裝在腔體的頂部。
● 腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,精度為10?。
● 可使用循環水冷機。
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技術參數

● 輸入:單相AC208-240V,20A,50Hz/60Hz,<10KW
● 輸出:0-8V AC 可調,最大電流400A,最大功率8000W(包括真空泵)
● 真空腔:Φ300mm(內徑)×400mm,不銹鋼,內壁經電拋光處理
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● 腔門:Φ200mm
● 觀察窗:Φ95mm,采用專用密封圈密封
● 真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s(標配GZK-103G分子泵)
● 真空度:5.0×10-6torr(泵開啟40min后)
● 極限真空度:5.0×10-7torr (加熱溫度為100℃-150℃)
● 漏率:5.0×10-7Pa/s
● 樣品臺:Φ140mm
● 蒸發舟與樣品臺間距:260mm
● 冷卻水需量:15L/min
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產品尺寸

650mm×1200mm×1600mm;

產品重量 600kg
保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
點擊查看售后服務承諾書。
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