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VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機

應用范圍：VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了先進的設計理念，配合精密的運動控制系統，可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作。該設備可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段。每段運行參數可獨立設置，可使設備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節約材料。設備腔體采用聚丙烯材質，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及電機轉子軸中心的氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩、可靠性高、適應性強、維修與保養簡單，電機啟動快速穩定，加速后運行平穩，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優點，主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

產品型號：VTC-100PAX

設備尺寸：L270*W430*H400mm

重量：12kg

上架時間：2024-07-17

版本號：V1.0

A^-A⁺

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VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAX 真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機，采用了先進的設計理念，配合精密的運動控制系統，可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作。該設備可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段。每段運行參數可獨立設置，可使設備緩慢提升速度至極限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節約材料。設備腔體采用聚丙烯材質，具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空，工作時利用真空吸盤及電機轉子軸中心的氣路管線與外部真空泵相連，能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上，此方式操作簡便、樣件取放自如，吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉主軸采用高速直流無刷電機，噪音低、振動小、運行更加平穩、可靠性高、適應性強、維修與保養簡單，電機啟動快速穩定，加速后運行平穩，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAX真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優點，主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

技術參數
供電接口	帶保險電源插座：AC220V 50Hz 保險管規格為10A、φ5×20mm
總功率	≤150W(不含外接真空泵）
涂膜主機腔體（材質）	聚丙烯
載樣盤（吸盤）	聚丙烯真空吸盤：1 寸（適用φ25 樣片）、3 寸（適用φ76 樣片）各一個
運行方式	可儲存6 組程序，每組程序包含9 個運行階段
涂膜轉速	：500-12500rpm 有效
增減速率	每段增減速度設置范圍：100—2000 rpm/s
涂膜時間	每段時間范圍：0-999s
轉速穩定性	±1%
控制方式	PCB 單片機按鍵控制LMC 液晶顯示屏
尺寸	L270W430H400mm
重量	12kg
注：1.設備供電為國內標準AC220V 50Hz 供電，實際供電以產品后部標牌參數為準，此設備支持AC110V 50/60Hz 產品定制。 2.本設備控制程序及顯示均為英文。

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