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小巨人
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VTC-3RF 三靶射頻磁控濺射鍍膜儀

應(yīng)用范圍:VTC-3RF三靶射頻磁控濺射鍍膜儀,配有磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。

產(chǎn)品型號(hào) :VTC-3RF

上架時(shí)間 :2019-08-16

安裝尺寸:700mm L x 770 mm W x 1900 mm H

重量:80Kg(不包括泵)

產(chǎn)品簡(jiǎn)述 產(chǎn)品詳情 產(chǎn)品視頻 留言咨詢

       VTC-3RF三靶射頻磁控濺射鍍膜儀,配有磁控等離子濺射頭和射頻(RF)等離子電源,此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)

● 標(biāo)配的石英腔體(也可選配金屬腔體)方便觀察(圖1)
● 相比傳統(tǒng)濺射儀,體積小巧,拆裝方便(圖2)
● 模塊化設(shè)計(jì),靶頭,電源等多種可選,自由DIY(圖3)
● 基臺(tái)可旋轉(zhuǎn)可加熱
● 可濺射金屬和氧化物。實(shí)驗(yàn)室已初步制備了 氧化鋅、碲化鉍、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。
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                  圖1                             圖2                               圖3

基本參數(shù)

● 輸入電源:220V AC50/60Hz
● 設(shè)備功率:<1500W
● 靶臺(tái)加熱溫度:500℃
● 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速:0-10r/min
● 靶頭可調(diào)傾角:0-25度
● 濺射腔體尺寸:278mm OD x 272mm ID x310mm H。
● 靶材尺寸要求:1英寸磁控濺射靶頭Φ25.4mm ×(0.1-3)mm(厚度)
                           2英寸磁控濺射靶頭Φ50mm ×(0.1-3)mm(厚度)
● 最高使用功率:1英寸磁控濺射靶頭100W
                           2英寸磁控濺射靶頭300W

機(jī)體結(jié)構(gòu)

● 設(shè)備配備三個(gè)直流射頻通用靶頭,1英寸2英寸尺寸可選。
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),最高加熱溫度是500℃(圖1)
● 配有300W自動(dòng)匹配射頻電源和500W的直流濺射電源(可自由選擇)(圖2)
● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶(圖3)
● 配有靶頭電動(dòng)升降臺(tái)(圖4)
● 配有高純石英密封罩(圖5)
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            圖1                         圖2                              圖3                                 圖4                      圖5

產(chǎn)品尺寸

700mm L x 770 mm W x 1900 mm H
1

凈重 80 kg(不包括泵)
認(rèn)證

CE認(rèn)證

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無內(nèi)容
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