GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀
應用范圍： GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理（直流二極濺射鍍膜是指在真空環境中利用粒子轟擊靶材產生的濺射效應，使得靶材原子或分子從固體表面射出，在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理氣相沉積（PVD）制備薄膜技術的一種。）設計而成的簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。設備特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。該設備體積小，節省實驗室空間，操作簡單，尤其適合實驗室使用。
產品型號：GSL-1100X-SPC-16-3
上架時間：2020-04-16
版本號：V1.0
產品簡述
產品詳情
產品視頻
留言咨詢
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理（直流二極濺射鍍膜是指在真空環境中利用粒子轟擊靶材產生的濺射效應，使得靶材原子或分子從固體表面射出，在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理氣相沉積（PVD）制備薄膜技術的一種。）設計而成的簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。設備特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。該設備體積小，節省實驗室空間，操作簡單，尤其適合實驗室使用。
| 功能特點 |
|---|
- 設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態；
- 通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得好的鍍膜效果；
- 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象；
- 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用；
- 根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
| 技術參數 | |
|---|---|
| 電源 | 電壓單相AC220V±10%，頻率50Hz |
| 工作環境 | 溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh |
| 氣源 | 氬氣（99.99%以上純度） |
| 靶直徑 | ?45mm |
| 真空室 | ?160mm×120mm |
| 真空度 | ≤4×10-2mbar |
| 靶位 | 3個 |
| 最大電流 | 50mA |
| 可設定極限時間 | 900s |
| 微型真空氣閥 | 連接?3mm軟管 |
| 極限電壓 | 1600V DC |
| 機械泵抽速 | 2L/s |
暫無內容
暫無內容
留言咨詢
* 產品型號：
不能為空
* 產品名稱：
不能為空
* 訪客姓名：
不能為空
* 訪客手機：
手機號格式不對
* 訪客 QQ：
必須是數字
* 電子郵箱：
E-mail格式不對
* 詳細地址：
不能為空
* 留言內容：
不能為空
免責聲明：本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導致所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，科晶公司不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知。
嗶哩嗶哩
抖音
材料商城
手機淘寶
深圳科晶001
許凌鵬企業微信
呂志紅企業微信
劉霞企業微信
林婷婷企業微信
深圳科晶002
廖經理企業微信
韋香竹企業微信
黃萍萍企業微信
樊雙妃企業微信
陳燕芬企業微信
深圳科晶003
陳亞楠企業微信
官錫紅企業微信
許美燕企業微信
深圳科晶004
黃經理企業微信
殷菲憶企業微信
江娟企業微信
深圳科晶005
徐瓊宇企業微信
何佳恒企業微信
成丹企業微信
劉工企業微信
秦工企業微信
楊工企業微信
羅工企業微信
楊工企業微信
宋工企業微信
關注官方微信
小程序商城
微信付款
支付寶付款
