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VTC-16-3HD 小型三靶等離子濺射儀

應用范圍：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)，基片最大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

產品型號：VTC-16-3HD

上架時間：2019-08-16

安裝尺寸：460mm×330mm×540mm (L×W×H)

重量：50Kg（不包括泵）

A^-A⁺

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VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)，基片最大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

性能指標和基本配置
主要參數	● 輸入電源：220V 通用功率：< 1KW ● 工作電流：濺射電流：0-50 mA可調 ● 單次工作時間：0-5分鐘可調 ● 靶頭數目：3個 ● 輸出電壓：1600V DC ● 樣品臺加熱溫度：500℃（選配，詳細請聯系售后）
濺射腔體	● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H ● 密封：O形密封圈密封
樣品臺	● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置 ● 濺射距離：濺射距離可調 ● 可選購加熱型樣品臺（最高溫度可到500℃） ● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）
控制面板	● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 ● 一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
真空泵（選配）	● 用機械泵真空度達 50 mtorr（僅供參考，詳情請點擊） ● 用分子泵真空度可達 10-4 torr（僅供參考，詳情請點擊）
進氣口	一個精密可調針閥安裝在進氣口，以實現方便的調節進氣量
靶材	● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接
各種靶材的參數（僅供參考）	對于濺射各種金屬靶材，需要摸索最理想的濺射參數，下表是本公司實驗所設置的參數（僅供參考，詳情請點擊）
	靶材種類	真空度（Pa）	濺射電流（mA）	時間（s）	濺射次數
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
產品尺寸	460mm×330mm×540mm (L×W×H)
凈重	50 kg（不包括泵）
使用注意事項	● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節 ● 有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質量，必須通入高純氣體（建議> 5N） ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 ● 要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學鍵，可祛除額外的污染物 ● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應用于改善金屬和合金的附著力超聲波清洗機等離子清洗機大功率磁控濺射儀蒸鍍儀手套箱
警告	● 注意：產品內部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體 ● 氣瓶上應安裝減壓閥（設備標配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶
認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內點擊查看售后服務承諾書。

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