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廣東省工程技術研究中心
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MSK-PSE-EC1515-D 共蒸六源鈣鈦礦真空鍍膜儀

應用范圍:MSK-PSE-EC1515-D共蒸六源鈣鈦礦真空鍍膜儀配備6組蒸發源,可蒸鍍切換最多6種有機材料,也可同時共蒸2種材料如:CuAgPbI2CsBr等材料;設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作,采用前滑動開門結構。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

產品型號:MSK-PSE-EC1515-D

設備尺寸:約L1000*W780*H2000mm

重量:約360kg

上架時間:2024-04-16

版本號:V1.0

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       MSK-PSE-EC1515-D共蒸六源鈣鈦礦真空鍍膜儀配備6組蒸發源,可蒸鍍切換最多6種有機材料,也可同時共蒸2種材料如:Cu、Ag、PbI2、CsBr等材料;設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作,采用前滑動開門結構。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。
  功能特點
  • 真空腔室:采用304不銹鋼腔室,設計有前門雙導軌和后門手動鉸鏈結構,前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。真空室內外表面經過拋光處理,并預留有照明、膜厚儀等設備接口;
  • 真空系統:配備中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BVS30機械泵真空系統,8寸氣動擋板閥,真空測量:1個一低一高真空計,具有高效的抽氣能力,抽氣時間短且極限真空度高(優于2.0×10-5Pa),關機12小時后仍可保持良好真空性能;
  • 基片臺:抽屜式結構,可承載最大L150mm*W150mm樣品,配氣動基片擋板,支持旋轉和水冷功能,與蒸發源距離可調,手動升降調節最大距離50mm可調;
  • 蒸發源及電源:系統配置2組舟式蒸發源,金屬源采用水冷銅電極+蒸發舟結構,最高溫度可達1500℃;并配備2.4KW蒸發電源,支持恒流和恒壓兩種驅動模式,可手動/軟件控制也可通過膜厚儀PID控制調節蒸發速率;
  • 膜厚控制系統:采用進口INFICON公司的SQC-310C膜厚儀,精度高達0.01埃,可實現兩源共蒸發。同時,還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動控制系統,可以輸入速率和終厚,通過PID調節自動控制蒸發電源輸出;
  技術參數
電源 三相五線制AC380V±10%,頻率:50Hz,總功率約8KW
氣源 壓縮空氣:干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣,8mm塑料氣管,壓力5.5~6公斤(0.55-0.6MPA)
氮氣:干燥氮氣,用于設備腔室破真空,8mm塑料氣管,壓力1-2公斤(0.1-0.2MPA)
水源 流量15-20升/分鐘,15~25℃,
進水和出水壓差1~2公斤,進水壓力2~3公斤,
設備的進水和出水口外徑12mm
真空室 304L不銹鋼方形真空室,內部電拋光,立式前后開門結構
前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個(配防污玻璃),后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個(配防污玻璃)
內襯材質:不銹鋼,多片結構方便拆卸安裝
左側:連接主閥門和分子泵,真空測量接口
頂部:安裝旋轉水冷樣品臺、樣品臺大擋板、膜厚儀接口各1個
底板:安裝金屬蒸發電極2組、有機源蒸4組,2個膜厚儀探頭安裝口
真空室下方為一體式電控部分,配有萬向輪和地腳,方便移動
抽真空系統 組成 分子泵+機械泵組合式真空系統,氣動閥門,進口全量程真空計
分子泵:中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑,抽速:1300L/S
機械泵:鮑斯BVS30機械泵,抽速:9L/S
真空閥門:DN40mm 擋板閥2套;中科科儀氣動主閥DN200 1套
真空密封:可拆靜密封采用氟橡膠圈密封,不常拆靜密封采用無氧銅密封
真空極限 真空極限優于2.0×10-5Pa
漏率:優于5×10-8Pa*L/S(國家標準)
關機12小時后,真空度≤5Pa(手套箱干燥氮氣環境)
抽速 抽氣時間:大氣壓~5*10-4Pa,小于20min(手套箱干燥氮氣環境)
真空計 1個一低一高真空計
自動控制切換低真空、高真空測量,范圍:大氣到5E-9torr
真空讀數輸入PLC,用于工藝控制
蒸發源 配備2組舟式蒸發源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式
配備4組有機束源蒸發源,配套4組坩堝,加熱溫度:0~700℃,角度可調范圍:15°
配備4臺20-10有機蒸發電源,配備實時顯示坩堝溫度日本導電溫控儀,可程序段控溫
工件架 配有自轉電動工件盤,一次性放置最大150*150mm樣品,配有單轉軸空心磁流體密封,樣品旋轉
高扭矩電機和控制器,轉速0~30RPM可調
帶冷卻功能
氣動擋板
系統自動控制 西門子PLC+觸摸屏手自動控制,可輸入速率及終厚,PID調節自動控制蒸發電源輸出
控制內容:機械泵,分子泵,氣動、電磁閥門、真空計等等;自動抽真空、自動鍍膜、自動排氣等
完整的互鎖保護(硬件、軟件互鎖),另外系統還配備水流檢測報警裝置
安全保護 缺水欠壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統檢測與保護,對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施
真空室尺寸 約L400*W400*H450mm
外形尺寸 約L1000*W780*H2000mm
重量 約360kg
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