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小巨人
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D-500 臺階儀

應用范圍:D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描,以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離,亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍,包括從納米級到毫米級的臺階高度,高分辨率的粗糙度,軟材料和薄膜應力等,使其能夠服務于研發和生產環境中的各個行業。

產品型號:D-500

上架時間:2024-04-29

版本號:V1.0

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       D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描,以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離,亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍,包括從納米級到毫米級的臺階高度,高分辨率的粗糙度,軟材料和薄膜應力等,使其能夠服務于研發和生產環境中的各個行業。
  功能特點
  • 臺階高度重復性:亞埃分辨率及光學杠桿傳感器具有低重量,低噪聲的特點。在1微米臺階的高度重復性為5埃;
  • 直觀的用戶界面,數據采集設置和系統硬件控制顯示在同一界面,直接保存原始數據,數據分析無需重新測量,操作便捷;
  • 超高清鏡頭:500萬像素高分辨率彩色相機,4倍數碼變焦和增強的照明控制;
  • 梯形校正:消除側視鏡頭畫面的扭曲失真;
  • 圓弧修正:圓弧修正功能可自動修正探針在測量過程中的圓弧運動,極大提高了側壁傾角和臺階寬度量測的精確度;
  • 主要應用領域:薄膜/厚膜臺階的精準量測、蝕刻深度量測、柔性薄膜、表面粗糙度/平整度表征、薄膜2D應力量測、表面起伏度/彎曲度和其他多種表面分析功能。
  技術參數
單次量測長度 30mm
拼接量測長度 80mm
探針 最大垂直測量值:1200μm
針壓施力范圍:0.03-15mg
電腦控制施力
側視鏡頭 FOV:3760*3120μm
相機:500萬像素數碼相機
支持4倍放大
電腦校正視野
手動樣品臺 尺寸:直徑140mm
水平移動范圍:20mm*80mm
手動水平調節 1微米標樣
50微米標樣
探針 5微米,夾角60°
電腦配置 Windows10,64位,4GB內存,500GB硬盤
配有16X倍速DVD±RW刻錄機
配有USB2.0(前后各一個)和RJ45接口
配19寸LCD顯示器
暫無內容
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