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PCE-33 紫外臭氧清洗機

應用范圍:PCE-33是一款桌面式紫外(UV)臭氧清洗機,自動開/關樣品門,可選加熱樣品臺,可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果,最大有效清洗面積300×300mm。此款設備特別適合移除基片上的光刻膠,改善潤濕性,清洗鈣鈦礦太陽能電池基片,SEM&TEM樣品,UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性,干燥且無損傷地原子級別清洗手段,特別適合清除樣品表面的有機物。設備上所用紫外燈管主要發出2種波長的紫外光185nm254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變為臭氧,254nm紫外光激活基片表面的有機物分子,兩者結合可有效清除基片表面有機物。

產品型號:PCE-33

上架時間:2024-07-27

版本號:V1.2

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       PCE-33是一款桌面式紫外(UV)臭氧清洗機,自動開/關樣品門,可選加熱樣品臺,可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果,最大有效清洗面積300×300mm。此款設備特別適合移除基片上的光刻膠,改善潤濕性,清洗鈣鈦礦太陽能電池基片,SEM&TEM樣品,UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性,干燥且無損傷地原子級別清洗手段,特別適合清除樣品表面的有機物。設備上所用紫外燈管主要發出2種波長的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變為臭氧,254nm紫外光激活基片表面的有機物分子,兩者結合可有效清除基片表面有機物。
  功能特點
  • 清洗面積較大,最大達300×300mm;
  • 樣品倉門自動開關;
  • 可移除基片表面各種污染物;
  • 樣品臺可加熱,最高溫度150℃;
  • 觸摸屏控制面板,可設置和現實各種參數。
  技術參數
電源 單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,功率約950W
UV燈 雙波長汞燈
UV燈波長 184.9nm、254nm;(臭氧型雙重波峰值)
UV燈使用壽命 5000小時
UV燈罩區域 300mm*350mm
可清洗基片尺寸 MAX 12英寸,厚35mm
時間設置 0.01s-99.9小時
腔體 不銹鋼殼體
自動滑動抽屜樣品倉
腔體內安裝有臭氧排除裝置
加熱型樣品臺 面積L450mm*W450mm
支持最大樣品厚度:40mm;
加熱臺最高溫度可達150℃,程序控溫
可設置30段溫度段,控溫精度±2℃
最大加熱速率:15℃/min
樣品臺和UV燈關之間的距離可調節:20~40mm
可選加熱溫度達到300℃,控溫精度±0.1mm
排氣口 一個直徑為75mm的排氣口在設備后部
配有3米的柔性排氣管道
設備應用 清洗Si基片,GaAs基片,石英和ITO玻璃;清洗各種氧化物單晶片,如藍寶石,STO和LAO;清洗Au和Pt基片;輕金屬材料表面氧化;活化聚合物材料;UV去除光刻膠;UV清洗LED顯示屏等
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