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MSK-PSP-HFE2020 加熱閃蒸成膜儀

應用范圍: MSK-PSP-HFE2020加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結晶設備。本設備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設計,設備可以創造真空條件,在真空條件下液體沸點降低,加快溶劑揮發,有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設備內薄膜放置面為加熱平臺,可對薄膜進行加熱(同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置)。經閃蒸處理后的薄膜結晶致密均勻。該設備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產品型號:MSK-PSP-HFE2020

設備尺寸:約L500*W500*H400mm(不含管道)

重量:約60KG

上架時間:2024-07-29

版本號:V1.2

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       MSK-PSP-HFE2020加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結晶設備。本設備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設計,設備可以創造真空條件,在真空條件下液體沸點降低,加快溶劑揮發,有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設備內薄膜放置面為加熱平臺,可對薄膜進行加熱(同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置)。經閃蒸處理后的薄膜結晶致密均勻。該設備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。
  功能特點
  • 獨特的真空管道設計,抽取真空時氣流平穩;
  • 大功率真空泵,抽取真空速度快;
  • 內置真空壓力測量傳感器,可控制保壓時真空壓力;
  • 上蓋配備玻璃視窗,可觀察成膜過程(受結構限制,選配紅外烘烤裝置時,沒有玻璃視窗);
  • 內置加熱模塊,升溫速度快,溫度均勻性好;
  • 一機多用,節省空間;
  • 可自行組合使用模式,為試驗提供更多可行方案。
  技術參數
電源 設備本體:單相AC220V±10%,頻率50Hz,功率約4.5KW
真空泵:三相五線制AC380V±10%,頻率50Hz,功率約2.2KW
極限壓力 ≤5x10-1Pa
抽氣速率 10秒到5Pa,15秒到3Pa
適應基材尺寸 Max.L200*W200*H10mm
設置溫度范圍 Max.200℃
溫度均勻性 ± 1% FS
面板材質
設備本體尺寸 約L500*W500*H400mm(不含管道)
真空泵尺寸 約L350*W900*H500mm
設備本體重量 約60KG
真空泵重量 約91KG
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