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廣東省工程技術(shù)研究中心
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MSK-PSP-HFE2020 加熱閃蒸成膜儀

應(yīng)用范圍: MSK-PSP-HFE2020加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計,設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件,在真空條件下液體沸點(diǎn)降低,加快溶劑揮發(fā),有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設(shè)備內(nèi)薄膜放置面為加熱平臺,可對薄膜進(jìn)行加熱(同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置)。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號:MSK-PSP-HFE2020

設(shè)備尺寸:約L500*W500*H400mm(不含管道)

重量:約60KG

上架時間:2024-07-29

版本號:V1.2

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       MSK-PSP-HFE2020加熱閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計,設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件,在真空條件下液體沸點(diǎn)降低,加快溶劑揮發(fā),有利于鈣鈦礦薄膜的形成。設(shè)備內(nèi)薄膜放置面為加熱平臺,可對薄膜進(jìn)行加熱(同時頂部可選配添加紅外烘烤裝置)。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實(shí)驗(yàn)室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。
  功能特點(diǎn)
  • 獨(dú)特的真空管道設(shè)計,抽取真空時氣流平穩(wěn);
  • 大功率真空泵,抽取真空速度快;
  • 內(nèi)置真空壓力測量傳感器,可控制保壓時真空壓力;
  • 上蓋配備玻璃視窗,可觀察成膜過程(受結(jié)構(gòu)限制,選配紅外烘烤裝置時,沒有玻璃視窗);
  • 內(nèi)置加熱模塊,升溫速度快,溫度均勻性好;
  • 一機(jī)多用,節(jié)省空間;
  • 可自行組合使用模式,為試驗(yàn)提供更多可行方案。
  技術(shù)參數(shù)
電源 設(shè)備本體:單相AC220V±10%,頻率50Hz,功率約4.5KW
真空泵:三相五線制AC380V±10%,頻率50Hz,功率約2.2KW
極限壓力 ≤5x10-1Pa
抽氣速率 10秒到5Pa,15秒到3Pa
適應(yīng)基材尺寸 Max.L200*W200*H10mm
設(shè)置溫度范圍 Max.200℃
溫度均勻性 ± 1% FS
面板材質(zhì)
設(shè)備本體尺寸 約L500*W500*H400mm(不含管道)
真空泵尺寸 約L350*W900*H500mm
設(shè)備本體重量 約60KG
真空泵重量 約91KG
暫無內(nèi)容
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