實驗設備
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PF-02-PPM可再生脫氧管 -
PF-2大容量（5CF）容積式自動進料器 -
PF-1S容積式自動進料器 -
LPG-5實驗型離心霧化干燥機 -
BK-380-2多通道精密蠕動泵 -
300S-P-H可加熱型注射泵 -
MSK-USP-6000實驗型霧化干燥器 -
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ZF-MFC-1C質量流量控制器 -
GSL-3F-PTFE防腐型3路浮子混氣系統 -
精密氮氣發生器 -
CGM-2F混氣系統2路浮子 -
ALD-GSL-42通道ALD控制單元 -
ALD-1200X-R-4ALD回轉爐系統 -
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OTF-1500X1500℃單溫區開啟式管式爐 -
OTF-1200X-4-RTP-SL滑動式RTP快速退火爐 -
OTF-1200X-80-SL單管滑動快速加熱冷卻爐 -
GSL-1100X-III-D11大面積雙管石墨烯生長爐 -
OTF-1200X-5-III-D41200℃雙管三溫區 -
GSL-1500X-501500℃小型管式爐 -
TF-1200X-4-C4LVS1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統 -
GSL-1400X1400℃小型管式爐 -
OTF-X-TGATGA真空氣氛管式爐 -
OTF-1200X-III-HPCVD-SE1200℃三溫區HPCVD系統 -
OTF-1200X-5S1200℃小型單溫區大口徑開啟式管式爐 -
GSL-1200X-MH4磁場真空退火爐 -
GSL-1100X-III-D11-81100℃雙管三溫區管式爐 -
OTF-1200X-60HV800℃超高真空管式爐 -
微型PECVD系統 -
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL帶有預熱系統的滑動PECVD
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