實驗設備（按工藝分）
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MSK-USP-6000實驗型霧化干燥器 -
GSL-2Z-LCD-S小型二通道混氣系統 -
GSL-1600X1600℃管式爐 -
ZF-MFC-1C質量流量控制器 -
精密氮氣發生器 -
CGM-2F混氣系統2路浮子 -
ALD-GSL-42通道ALD控制單元 -
ALD-1200X-R-4ALD回轉爐系統 -
OTF-1500X1500℃單溫區開啟式管式爐 -
OTF-1200X-4-RTP-SL滑動式RTP快速退火爐 -
OTF-1200X-80-SL單管滑動快速加熱冷卻爐 -
GSL-1100X-III-D11大面積雙管石墨烯生長爐 -
OTF-1200X-5-III-D41200℃雙管三溫區 -
GSL-1500X-501500℃小型管式爐 -
TF-1200X-4-C4LVS1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統 -
OTF-X-TGATGA真空氣氛管式爐 -
OTF-1200X-III-HPCVD-SE1200℃三溫區HPCVD系統 -
OTF-1200X-5S1200℃小型單溫區大口徑開啟式管式爐 -
GSL-1200X-MH4磁場真空退火爐 -
GSL-1100X-III-D11-81100℃雙管三溫區管式爐 -
OTF-1200X-60HV800℃超高真空管式爐 -
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL帶有預熱系統的滑動PECVD -
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL三溫區1500℃ PECVD系統 -
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統 -
OTF-1200X-4-NW生長納米線的CVD爐 -
OTF-1200X-S-II-4CV-PE1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統 -
OTF-1200X-5L1200℃加長溫區開啟式管式爐 -
TF-1200X-PESDFG-50雙爐體滑動PECVD系統＆循環手套箱 -
OTF-1200X-III-R5-PECVD1200℃5英寸三溫區等離子增強粉體回轉爐系統 -
OTF-1200X1200℃開啟式管式爐系列 -
OTF-1200X-II-PEC41200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統 -
OTF-1200X-II-PE-RRW等離子增強卷對卷線材連續制備系統
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