PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機
應用范圍：PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x
14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
產(chǎn)品型號 ：PCE-500W
上架時間 ：2019-09-04
安裝尺寸：600mm L×600mm W×810mm H
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PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 主要參數(shù) |
● 射頻功率：0-500W |
| 射頻電源 |
● 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié) |
| 等離子腔體 |
● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 |
| 控制面板 |
● 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等 |
| 真空泵（選配） |
● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 |
| 通入氣體 |
● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） |
| 可選 |
● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 |
| 產(chǎn)品尺寸 |
600mm L×600mm W×810mm H |
| 相關應用 |
● 請自行根據(jù)您的應用測試最佳的等離子功率 |
| 質(zhì)量認證 |
CE認證 |
| 保修期 |
一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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