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PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機

應用范圍:PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機,等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續可調節。此款設備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用,對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

產品型號 :PCE-500W

上架時間 :2019-09-04

安裝尺寸:600mm L×600mm W×810mm H

產品簡述 產品詳情 產品視頻 留言咨詢

       PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機,等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MH,功率0 -500W連續可調節。此款設備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應用,對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

 性能指標和基本配置
主要參數

● 射頻功率:0-500W
● 總功率:1.5KW
● 電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源

● 射頻功率可在0-500W之間調節
● 頻率:13.56MHz
● 注:可與本公司工作人員聯系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體
● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口
● 此設備完全屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等
● 儀器內部安裝有一0 - 100ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量

真空泵(選配)

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵
● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請點擊)
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通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定)
● 不能使用易燃氣體及腐蝕性氣體。

可選

● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
● 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統
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產品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H
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相關應用

● 請自行根據您的應用測試最佳的等離子功率
● 對于等離子清洗,根據工藝,通常保持射頻功率在10 -100W之間
● 對于等離子刻蝕,根據工藝,通常保持射頻功率在300-500W之間

質量認證

CE認證

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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