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PCE-6V 小型等離子清洗機

用范圍:PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

產品型號 :PCE-6V

上架時間 :2019-09-04

安裝尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

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       PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

 性能指標和基本配置
主要特點

● 采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。
● 可短時間內徹底清洗掉有機污染物。
● 清洗程度可達到分子級。
● 可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
● 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
● 樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。
● 廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

參數

● 電壓:AC220V  10A
● 消耗功率:<500W(包括真空泵)
● RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
● 腔體:Φ190mm×98mm
1
● 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
● 內腔:Φ165mm×55mm
● 清洗電極:Φ120mm
● 樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
● 樣品臺與電極間距:15mm-50mm
● 可調抽氣管:Φ12mm
● 極限真空度:0.1Pa
● 工作真空度:60Pa-500Pa
● 氣路數量:2路(選裝)
● 流量控制器數量:1、2
● 流量顯示儀:2通道
● 氣路接口:Φ6mm
● 加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
● 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
● 工作環境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m

產品規格

● 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
● 重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

● 加熱樣品臺
● 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個通道)

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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