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PDC-36G 3英寸迷你型等離子清洗機

應用范圍:PDC-36G 等離子清洗機是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染。在射頻電源的作用下,去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進行預處理,對生長具有顯著的作用 。

產品型號 :PDC-36G

上架時間 :2019-09-03

安裝尺寸:353mmLx380mmWx225mm H

重量:(不含泵)8kg

產品簡述 產品詳情 產品視頻 留言咨詢

       PDC-36G 等離子清洗機是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染。在射頻電源的作用下,去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進行預處理,對生長具有顯著的作用 。

 性能指標和基本配置
主要特點

● 結構緊湊、小型化的桌上型儀器
● 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物。
● 在制膜實驗之前預先清潔鍍膜基底的優秀工具。清洗后鍍膜的質量可以更好。
● 鉸鏈式門,方便裝樣
● 石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個石英舟,最大清洗一個2英寸的基片。
● 清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換
● 使用可調射頻電源,可以設置功率為低、中、高級別;低成本、操作安全。

主要參數

● 低功率設定:直流680V,10mA,6.8W;
● 中功率設定:直流700V,15mA,10.5W;
● 高功率設定:直流720V,25mA,18W;
● 射頻源輸出頻率:13.56MHz;
● 等離子直流電源:
● 輸入電壓:220V,50Hz

等離子腔室

● 直徑75mmx長200mm的石英墻體,前蓋可以開啟。
● 高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長。

真空計

設備標配一個數顯電阻真空機用于實時監測清洗倉內的真空度。

可選配件

● 您可以訂購額外的石英腔體,用于備用。
● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機可以與2路混氣系統組合(點擊下面第一張圖片了解詳情)
● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片
1 1

真空泵和閥

此設備不包含真空泵。

工作氣體

● 多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。
● 可以使用<4%的H2混合惰性氣體
● 警示:不能使用可燃性及腐蝕性氣體。

等離子清洗及刻蝕的方法

1

外形尺寸

353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

凈重

(不含泵)8kg

工作原理

等離子清洗機工作原理

質量認證

CE認證

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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